Переход Samsung на использование молибдена в V-NAND 9-го поколения
Samsung решила внедрить молибден в процесс металлизации своей V-NAND 9-го поколения, о чем сообщает TheElec. Компания закупила у Lam Research пять машин для осаждения молибдена и планирует увеличить их количество до двадцати единиц в следующем году. В отличие от фторида вольфрама (WF6), прекурсоры Mo, используемые в этом процессе, являются твердыми и требуют нагрева до 600 градусов Цельсия для превращения в газ. Этот стратегический переход от вольфрама к молибдену в структуре оксид-нитрид-оксид повышает удельное сопротивление транзисторов, позволяя Samsung укладывать больше слоев при производстве NAND.
Влияние на цепочку поставок материалов для NAND
Решение Samsung перейти на использование молибдена означает значительные изменения в цепочке поставок материалов для NAND. Компания закупает молибден у таких поставщиков, как Entegris и Air Liquide, а Merck также предоставляет образцы. Ожидается, что этот сдвиг повлияет на рынок WF6, поскольку цена на Mo примерно в десять раз выше, чем на WF6. Поэтому отечественные компании, производящие полупроводниковые материалы, такие как SK Trichem, Hansol Chemical и Oceanbridge, разрабатывают ресурсы молибдена, чтобы удовлетворить промышленный спрос.
Расширение сфер применения за пределы NAND
Помимо применения в производстве NAND, молибденовые прекурсоры, как ожидается, будут играть решающую роль в развитии DRAM и логических чипов. Это расширение подчеркивает универсальность молибдена и его растущее значение в различных полупроводниковых технологиях. По мере того как Samsung, SK Hynix, Micron и Kioxia изучают возможности использования молибдена, полупроводниковая промышленность готова к дальнейшим инновациям и повышению эффективности в сфере высокопроизводительной памяти и логических устройств.
Комментарии автора
Молибден (Mo) - это многогранный металл, который всегда удивляет меня. Мы используем молибден в наших сенсорных экранах, чтобы сделать их более устойчивыми к коррозии. Молибден более известен своими исключительными свойствами, такими как высокая температура плавления, непревзойденная прочность при экстремальном нагреве, превосходная электропроводность и замечательная коррозионная стойкость, благодаря которым молибден незаменим в различных отраслях промышленности. От укрепления стали до катализа химических реакций и даже формирования будущего полупроводниковых технологий, как в передовом производстве V-NAND компании Samsung, - универсальность молибдена не знает границ.
